半导体智能制造
教师: 趙天生
國立陽明交通大學
2023/10/23~2024/06/30
报名至：2024/06/30
6时数/6周次 (已经开始)
概要
课程目标
授课教师
课程进度表
课程内容
其它

概要

半导体制程与组件制备是整个半导体技术发展与制造最重要的部分。在这门课程中, 将从最基本的半导体如何清洗洁净 (cleaning) 开始, 包含湿式与干式清洗与防治污染技术。之后学习如何做隔离 (isolation)，整个隔离技术发展历史及演进。

课程目标

學生學習過本課程後，能夠認識「半導體晶圓潔淨技術」以及「絕緣技術」，並且對以下觀念有基本認識：

(1) 半導體潔淨技術的歷史演變

(2) 乾式與濕式潔淨技術基本原理

(3) 絕緣技術的曝光蝕刻原理

授课教师

國立陽明交通大學 電子物理系 趙天生教授


目前任教於國立陽明交通大學電子物理系。
1992 獲得國立交通大學電子研究所博士學位。
從事半導體教學與研究30年。
專長：半導體元件物理、奈米前段元件製程、奈米元件製作、薄膜電晶體、超薄絕緣層製備、半導體晶圓潔淨技術。

课程进度表

单元 1:Cleaning Technology (1)

单元 2:Cleaning Technology (2)

单元 3:Cleaning Technology Exam

单元 4:Isolation Technology (1)

单元 5:Isolation Technology (2)

单元 6:Isolation Technology (3)

单元 7:Isolation Technology Exam

课程内容

Semiconductor Wafer Cleaning Technology

＊Contamination control

＊Basic Concept of Wafer Cleaning Technology

＊Wafer Wet Cleaning

＊Alternatives to RCA Clean

＊Dry Cleaning Technology


Isolation Technology

＊Introduction

＊Shallow Trench Isolation (STI) Technology

＊Silicon-on-Insulator (SOI) Isolation Technology

＊Bulk FinFETs STI

通过标准


课程及格标准:60分满分：100分

其它

本課程證書費用：500元

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