半導體智慧製造
教師: 趙天生
國立陽明交通大學
2023/10/23~2024/06/30
報名至：2024/06/30
6小時/6週 (已經開始)
摘要
課程目標
授課教師
課程進度表
課程內容
證書資訊

摘要

半導體製程與元件製備是整個半導體技術發展與製造最重要的部分。在這門課程中, 將從最基本的半導體如何清洗潔淨 (cleaning) 開始, 包含濕式與乾式清洗與防治汙染技術。之後學習如何做隔離 (isolation)，整個隔離技術發展歷史及演進。

課程目標

學生學習過本課程後，能夠認識「半導體晶圓潔淨技術」以及「絕緣技術」，並且對以下觀念有基本認識：

(1) 半導體潔淨技術的歷史演變

(2) 乾式與濕式潔淨技術基本原理

(3) 絕緣技術的曝光蝕刻原理

授課教師

國立陽明交通大學 電子物理系 趙天生教授


目前任教於國立陽明交通大學電子物理系。
1992 獲得國立交通大學電子研究所博士學位。
從事半導體教學與研究30年。
專長：半導體元件物理、奈米前段元件製程、奈米元件製作、薄膜電晶體、超薄絕緣層製備、半導體晶圓潔淨技術。

課程進度表

單元 1:Cleaning Technology (1)

單元 2:Cleaning Technology (2)

單元 3:Cleaning Technology Exam

單元 4:Isolation Technology (1)

單元 5:Isolation Technology (2)

單元 6:Isolation Technology (3)

單元 7:Isolation Technology Exam

課程內容

Semiconductor Wafer Cleaning Technology

＊Contamination control

＊Basic Concept of Wafer Cleaning Technology

＊Wafer Wet Cleaning

＊Alternatives to RCA Clean

＊Dry Cleaning Technology


Isolation Technology

＊Introduction

＊Shallow Trench Isolation (STI) Technology

＊Silicon-on-Insulator (SOI) Isolation Technology

＊Bulk FinFETs STI

通過標準


課程及格標準:60分滿分：100分

證書資訊

本課程證書費用：500元

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